ESTUDO DAS CONDIÇÕES INICIAIS PARA O CRESCIMENTO DE FILMES DE Al2O3 SOBRE ALUMÍNIO EM FORMA REPRODUTÍVEL

Patricia Maria Patrizi Pratta(PG), Carlos Ventura D’Alkaine(PQ)

Universidade Federal de São Carlos - Dep. Química

Palavras-chaves: alumínio, filmes finos, condições iniciais


Existem estudos sobre o crescimento de óxido de alumínio(1-2), porém a maioria dos trabalhos é sobre filmes espessos, em geral próximos de condições estacionárias ou quase-estacionárias, onde os parâmetros do filme são constantes e os potenciais são altos. Ao estudar-se o crescimento sob condições transientes, portanto no caso de filmes finos, encontra-se o problema da existência de uma componente catódica nas correntes medidas. Isto se deve a que apesar do Al2O3 possuir um alto valor de intervalo de banda proibida (6,5 eV), para filmes finos, ocorre a passagem de elétrons por tunelamento ressonante o que provoca a decomposição da água levando à evolução de hidrogênio(3-6).

O objetivo do presente trabalho é determinar condições iniciais de crescimento voltamétrico de filmes finos de Al2O3, livres da evolução de hidrogênio. A não existência desta reação catódica permite calcular a carga de formação do filme pela integração da corrente faradáica, que nessa condição será só anódica.

As voltametrias foram feitas sobre um eletrodo de alumínio Aldrich com 0,316cm2 de área exposta, com pureza de 99,999%. O eletrólito utilizado foi 0,3M ácido bórico/0,15M borato de sódio, pH 8,5, que também atua como tampão. O eletrodo de referência empregado, contra o qual estão dados todos os potenciais, foi de Hg/HgO/NaOH 1M. Antes de cada medida, os eletrodos de trabalho eram polidos com lixa 600, 411-Q, da 3M, utilizando água destilada como lubrificante; rapidamente secados; introduzidos imediatamente no eletrólito e instantaneamente potenciostatizado de forma tal de resolver os problemas assinalados.

O alumínio possui um potencial de Flade (EF) de –2,6V. Se o potencial inicial (Ei) aplicado for próximo ao EF, existirá abundante evolução de hidrogênio gerando-se bolha se comprometendo os estudos de crescimento. Se Ei for mais positivo que EF, teremos o crescimento irreproduzível do filme inicial, a altas correntes. Para evitar a evolução de hidrogênio e um crescimento irreproduzível, no presente trabalho se propôs variar rapidamente o potencial aplicado imediatamente após a imersão (Eim) de um valor catódico com relação ao EF até um Ei livre de evolução de hidrogênio. Com este procedimento se esperava eliminar a formação de bolhas, conseguir um crescimento reproduzível do filme e não ter reação catódica já no Ei. Na Fig 1 pode observar-se que este procedimento gera que os crescimentos transientes seja reprodutíveis, desde que sempre se inicie a voltametria na mesma corrente inicial ii. Por outro lado se constata que, o procedimento permite a não formação de bolhas de hidrogênio se a velocidade de varredura (v) do Eim até Ei for o suficientemente rápida (200mV/s)












Figura 1: Voltametrias de crescimento do Al2O3 sobre Al em bórico/ borato, duplas curvas, em cada caso, a altas e baixas v para demonstrar a reprodutibilidade.


1-Konno, H. ;Kobayashi, S. ;Takahashi, H. ;Nagayama, M., Electrochim. Acta, 25(12)1980, pp1667-1672

2-Takahashi, H.; Nagayama, M.; Electrochim.Acta, 23(3)1978, pp279-286

3-D’Alkaine, C. V.; Garcia, C. M.; Anais 180 CONBRASCOOR - vol ll, 1995, pp750-760

4-Lohrengel, M. M.; Pilaski, M. ; 8th International Symposium o Passivity of Metals and Semiconductors, 1999

5-Garcia, C. M.; comunicação pessoal

6-Schmicler,W., in “Passivaty of Metals” R. P. Frankenthal and J. Kruger Ed. J. Electrochem Soc. Inc., pp102 (1978)


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